Hauptmenü Hauptmenü schließen

Ein starkes Herz für Computer, Handys & Co.

Industriegase sind für die Herstellung von Halbleiter-Bauelementen unverzichtbar

Halbleiter-Bauelemente sind heute allgegenwärtig.

Nicht nur in Computern oder Mobiltelefonen, auch in der Bordelektronik unserer Fahrzeuge, in der Unterhaltungselektronik oder in Haushaltgeräten sind sie unverzichtbar. Ihre Herstellung ist nach wie vor einer der komplexesten Prozesse, die man in der Industrie kennt: In einer Kette von Beschichtungs-, Lithographie-, Ätz- und Dotierschritten erhält der so genannte Wafer feine Strukturen. Dabei werden neben großen Mengen an reaktionsträgen Gasen (Inertgasen) je nach Verfahren auch verschiedene hochreine Reaktivgase als Ätz- oder Dotiermittel eingesetzt. Ähnliche Verfahren werden auch in anderen Bereichen der Hochtechnologie, beispielsweise der Glasfaser-, Solarzellen- und Flachbildschirmherstellung oder der Nanotechnologie, eingesetzt. Für alle gilt: Um einen sicheren und störungsfreien Betrieb sicherzustellen, spielt die Reinheit der Gase und die Qualität der Gasversorgungssysteme eine sehr wichtige Rolle.

Seite empfehlen:

Sprache